東莞市91污真空科技有限公司（sī）旗下的旋片真空泵以清潔（jié）無汙染，而且擁有較寬的抽速（sù）範圍（wéi）以及良好的節能、穩定（dìng）、易（yì）維護等優勢廣（guǎng）泛應用於半導體行業，半導體工（gōng）藝用真空主要用在蒸發，濺射，PECVD，真空幹（gàn）法刻蝕， 真（zhēn）空吸附，測試設備，真空清掃等等鍵合工序，今天91污的技術人（rén）員來給大家普及（jí）一下旋片真空泵在半（bàn）導體工藝中（zhōng）的（de）應用不可忽（hū）視（shì）的安（ān）全問題。

半導體材料可（kě）以分為元素半導體和化合物半導體兩大類，元素半導（dǎo）體指矽、鍺單一元素形成的半導體，化合物指砷化镓、磷化銦等（děng）化合（hé）物形成的半導體。砷化镓的電子遷移速率比（bǐ）矽高5.7倍，非常（cháng）適合用於高（gāo）頻（pín）電路。

半導體生產製造過程中容易產生易（yì）燃易爆以及有毒的物質氣體，會對生產及人員安全造成威脅，因此，旋片真空（kōng）泵（bèng）在（zài）半導（dǎo）體工藝中的應用時需要注意的幾個安全事項主要有以下幾（jǐ）點內（nèi）容：

1、定期清洗旋片真空泵及其他附件、過濾、管道，避免超壓；

德國旋片真空泵（bèng）在半導體中應用（yòng）時，抽取介（jiè）質過程中經過反應室與真空泵，其成分可能極為複（fù）雜，如SiH4與O2在（zài）泵口形成SiO2，TiCl4水解會形成HCl；假設（shè）是油封式機械泵（bèng），這些氣體物質還可（kě）能與泵油發生化反。這些變（biàn）化假設形成顆粒、可凝（níng）物或者腐蝕性介質，就可能堵塞真（zhēn）空泵或管路係統，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，第一點中提到的危險性也更大（dà）。所以需要及時的清洗，並在（zài）必要的時候設置過濾設備。

2、有效稀釋有害氣體的濃度；

半導體易產生（shēng）前麵所說的易燃易爆、有毒的有害氣體。所以半（bàn）導體（tǐ）用（yòng）真空泵應用過程中，在抽取這些介質時就必須（xū）防止它們在（zài）真空泵內或者排氣過程中發生一些不可控的反應。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質，在與空氣或氧接（jiē）觸（chù）的（de）時候，會引起燃燒甚至爆（bào）炸；氫氣在空氣中的混合比例達（dá）到一定程度與溫度時也（yě）會發生燃燒。這（zhè）些都取決於該（gāi）物質的量以及與環境的壓力、溫度的關（guān）係。因此半導體真空泵在抽取（qǔ）這些介質時（shí），需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將（jiāng）這些氣體稀釋到當時（shí）條件下的安全範圍。

3、注意氧氣（qì）的濃度；

空氣中的氧如果濃度過高也會發生燃燒及爆炸風險。所以一些情況下需注（zhù）意氧的（de）濃度（dù），采用惰（duò）性氣體來（lái）稀釋，防止濃度過（guò）高；假設是油封機械泵可能還需要采用（yòng）一些惰性的與氧相容的真空泵油，並及時更換油濾和（hé）油品。

4、防止溫度過高；

半導體在真空泵的應用中，有害氣體比較多，而無論是幹式真空泵還是油封機械泵，泵腔內（nèi）溫度過高，高溫下易燃易爆及有毒氣體就會容易發生危險。

以上四個方麵就是旋片真空泵在半導體工藝中的應用過程中最（zuì）主要的幾個安全（quán）事項，我們一定不可忽視，技術人員說小問題對運轉、產量、效率和安全都有聯（lián）係，如果想要工作更加的順利，我們應該延長真空泵的使用壽命，努力協（xié）調平衡，保證效率（lǜ）與安全。