根據現在最常用的（de）矽單晶直拉法（fǎ）減壓拉晶工藝，真空係統一般都配備滑閥式真空泵。但隨著大直徑、重（chóng）摻雜等（děng）特殊要求的矽單晶需求量的增加，對單晶爐設備的要求也越（yuè）來越（yuè）高，采用滑閥式真空泵的缺點也日益顯現。為（wéi）了提高生產效率，降低成本，也（yě）為（wéi）了（le）保證器件（jiàn）參數的（de）一致（zhì）性、可靠性（xìng），都希望直拉單（dān）晶大直徑化，設（shè）備（bèi）控製高（gāo）度自動（dòng）化，從（cóng）抽（chōu）空（kōng）到拉晶結束全部自動化控製，且穩定（dìng）性、可靠性極好的大（dà）型直拉單晶設備（bèi）。為了提（tí）高單晶（jīng）的內在（zài）質量或者（zhě）某方麵參數的特殊要求，91污通（tōng）過改造真空係（xì）統，將水環式真空泵應用在直拉單晶爐設備上，以提高（gāo）直拉單晶爐的整體性能。下麵跟著小編一起來了解改造好的真空（kōng）係（xì）統在直拉單晶爐上的應用有什麽變化吧。

直拉單晶爐，包括（kuò）爐體，爐體包括爐（lú）座和（hé）爐腔，爐腔設置在爐座上，爐體內設有加熱裝置和直拉成型裝置，加（jiā）熱（rè）裝置包括石英坩堝、石墨（mò）坩堝、加熱器和石墨（mò）電極，石墨坩堝包裹在石英坩堝的外側，加熱器設置在石墨坩堝的外側，石墨電極設置在加熱器的底端，直拉成型裝置（zhì）包括豎直設置的籽晶軸和坩堝軸，籽晶軸設（shè）置在石英坩堝的上方，坩堝軸設置在石英坩堝的底部，籽晶軸的上方設（shè）有與籽晶軸（zhóu）相連接（jiē）的籽晶軸驅動裝置，坩堝軸的底部設有坩堝軸驅動裝置。

滑閥泵是用油來保持密封（fēng）的機械（xiè）真空泵（bèng）的，由於（yú）它的滑閥環（huán）與泵腔有一定間隙，兩者不接觸，可抽（chōu）含有微（wēi）小塵埃的氣體。在（zài）單晶正（zhèng）常生長過程中，滑閥泵將會帶走由於高溫而產生出來的矽氧化物和雜質揮發（fā）物，這些雜質大部分會進入泵腔，與真空泵油混合（hé）在一起。由於矽單（dān）晶生長時間比較漫長，特別（bié）是大直徑（jìng）的矽單晶生（shēng）長時（shí）間更（gèng）長，隨著時間的（de）增加（jiā），真空泵油（yóu）裏的雜質也越積越多，從而使真空（kōng）泵油的黏稠度也越來越大，導致真空泵負（fù）荷增大，抽速下降，嚴重的會（huì）造成真（zhēn）空（kōng）泵不能（néng）正常工作。因此需要定期更換真（zhēn）空泵油，這樣做還可延長（zhǎng）真空泵壽命。但頻繁的更換（huàn）真空泵油，不但維護費用高而且在一個拉晶（jīng）工藝過（guò）程中是無（wú）法實現的。特別是在拉重摻（chān）砷等劇毒摻雜元素的矽單晶時，有一部分砷等劇毒元素融入真空泵油中，使得真空泵的維護更加困難，含有砷等劇毒摻雜元素的真空泵油（yóu）處（chù）理是件很棘手的事。

針對上述的問題，改進後（hòu）的真空係統（tǒng）在直拉單晶爐上的應用（yòng），既可以使（shǐ）用水環（huán）泵作為主泵，也可當旁路（lù）真空球閥關閉的時候，使用滑閥泵作為主泵（bèng），滿足不（bú）同拉晶工藝的（de）需要。當（dāng）使用水（shuǐ）環泵作為主泵（bèng）時，正（zhèng）常拉晶產生的矽氧化物（wù）和（hé）雜質揮發物都被抽到了水環泵裏，溶於水環泵的水中，水環泵的水不斷地循環更新，確保了水的清潔，使得水環泵能正常工作，不會因為拉（lā）晶時間太長，影響水環泵的（de）工作性能，從而維持正常抽速，保證爐膛內的真（zhēn）空度穩（wěn）定（dìng）。排出的（de）水經過處理還可以重複（fù）使用，這樣不但維護方便（biàn）而且費用低，特別是拉重摻砷等劇毒摻雜（zá）元素的矽單晶時，砷等（děng）劇（jù）毒摻雜元素融入水中後比較容易被分離（lí）收集，減少對環境影響。