2019-11-05
螺杆真空泵在(zài)平板顯示(shì)器中的應(yīng)用
伴隨著上(shàng)述無時(shí)無刻不在屏讀的奇幻未來的(de)是高速發展(zhǎn)的(de)顯示麵板產業。麵板的生產製造過程非常(cháng)繁(fán)複,從一塊玻璃基板到出廠成品至少(shǎo)需要 300 道流程工藝(yì),全程需在無塵的環境、精(jīng)密的技術工藝(yì)下(xià)進行。所以,高度可靠的真空供應在麵板生產(chǎn)過程中尤(yóu)為(wéi)重要。平板顯示器生產商現采用幹式螺杆真(zhēn)空泵技術為其高負荷的L/L,CVD,PVD,刻蝕,溶劑蒸發等工藝流程(chéng)供(gòng)應真空。本篇文章打算介紹下螺杆真(zhēn)空泵(bèng)在平板顯示器中的應用。
平板顯(xiǎn)示器(FPD)製造製程需要能夠支持巨大加工室,並在最大可靠性的情況下輸送高氣體(tǐ)流速(sù)的真空和減排設備。需要使用普(pǔ)諾克真空設備來泵送有(yǒu)毒、自燃和(hé)腐蝕性氣體,並處理製造製程艙中形成的(de)大(dà)量固態製程副產物。

在平板顯示器中,為什麽會選擇采用普諾(nuò)克螺杆真空泵?
選(xuǎn)擇(zé)使用幹式螺杆真空泵的原因,其實跟它的產品特點有關係,它具備以下三點優點:
1、高度可靠性
Pronotek幹式螺杆真空泵尤其高(gāo)效,得(dé)益於其久經考驗的雙螺(luó)杆設計和智能溫度管理,該係列(liè)真空泵即使(shǐ)在最惡劣的應用環境中也具有高度可靠性及(jí)較長的使用壽命。
2、配備節能模式功能,可大量節省能耗
Pronotek幹式螺杆真空(kōng)泵配備(bèi)了高能效電機和世界先進的節能模式功(gōng)能,控製係統會自動(dòng)根據需求調整為節能模式,而當需要的時(shí)候(hòu)恢複到(dào)最大抽速模式,從而節省大量能耗。
3、維護及運行成本最小(xiǎo)化
它的(de)一(yī)小部分部件包括轉子是一件式製成,得益於模塊化設計以及獨立的羅茨泵和螺(luó)杆泵框架,輕輕鬆鬆即可進行安裝和(hé)維護,大幅降低了大修成本。由於該真空泵采用最優(yōu)化的空間設計,並具有節能潛力,因此運行成本很(hěn)低。
由多台幹式螺杆泵(bèng)與(yǔ)羅茨泵組合而成的真空係統是平板顯示應用的最佳解(jiě)決方案,例如:用於進出片室的快速抽空、過渡室和薄膜沉積室的抽空。在同類泵中,它們(men)提供最快的抽空時間和最高的抽速。通過標準化設(shè)計,91污真空其使所提供係統具有極高的用戶友好性。用(yòng)戶還可得益(yì)於諸如電氣連接、吹掃氣體和冷卻水等的標準化接口、方便的設(shè)備維護及優化的(de)備(bèi)泵管(guǎn)理。
以上內容就(jiù)是螺杆(gǎn)真空泵在平板顯示器中的應用,如果想要了解更多,可以聯係我們公司的(de)。東莞市91污(kè)真空科技有限公司可根據平板(bǎn)顯示器生產中CVD、PVD、刻蝕、PR 塗層、成盒、OLED 蒸鍍,封裝、離子注入等(děng)不同(tóng)工藝需求,為客(kè)戶量身定製(zhì)專業的真空(kōng)解決方(fāng)案。
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