進口真（zhēn）空泵維修廠家表示真空係（xì）統（tǒng）的日常維護十分（fèn）重要，可避免在出現故障時手足無措、並（bìng）能盡快排除故障使設備正常（cháng）運轉。東莞市91污（kè）真（zhēn）空科技有限公司通過以下（xià）內（nèi）容對真（zhēn）空係（xì）統的主要部件維護作簡（jiǎn）單的介紹，同時，針對真空係統出現故障情況分析其原因以及真空泵維修之真空係統（tǒng）故障排除的方法，也會整理（lǐ）出（chū）來提供給各位進行參考一下的。

真空（kōng）泵（bèng）維修一：真空係統的主（zhǔ）要部件及維護方法

1、旋（xuán）轉泵：要定期檢查旋轉泵的油平麵，及時（shí）補充油確保（bǎo）泵運轉正常。泵皮帶用久後容易打滑，可適量加些皮帶脂或稍調（diào）節皮帶鬆緊度，可延長皮帶壽命。

2、擴散泵：擴散泵的工作性能好壞是（shì）決定電（diàn）鏡獲得高真空的關鍵，而影響擴散泵性能的主要（yào）原因是油質的下降和油量的減少（shǎo）為了減少擴散泵油的揮發和碳化，平時儀器要定期抽真空，換樣品時盡量減少樣品室在大氣中停留的時間，關機後一（yī）般要十分鍾後才停冷卻水；有條件的冷卻最好采用循環水箱和去離子水，以減少水垢的形成（chéng），保持冷卻性能；擴散泵油在正（zhèng）常情況下可（kě）連續（xù）使用（yòng）十年。

真空（kōng）泵維修二：真空係（xì）統故障（zhàng）原因

（1）低真空正常，高真空上不去。儀器（qì）在正常使用中光（guāng）柵突然出（chū）現閃爍，立即關高壓後控製麵板（bǎn）指示燈除 POWER亮，其餘都熄（xī）滅，真空度下降。數（shù）分鍾後用控製麵板上的檢測器測真空度（ⅤAC）電流一直在（zài）025mA.未聽見高（gāo）真空主閥啟動的聲音。查K板PD、HVAC指示燈（dēng）熄滅，抽真空程序不能正常進行（háng）。從故障現象看引起儀器（qì）不正常的（de）原因是：擴散泵工作不正常（cháng）；計算（suàn）機真空控製部分失控。

（2）儀器自動關機，處於保護狀態：一開（kāi）機 POWER指示（shì）燈亮，機械泵響聲正常，15分鍾左右擴散泵（DP）指示燈亮，不（bú）久PREEⅤAC、EVAC指示燈亮，一會PREEⅤAC、EVAC指示燈（dēng）滅，馬上PREEⅤAC、EVAC指示（shì）燈又亮，然後儀器自動關機處於保護狀態。引起此故障的原因有下列幾種情況：a.主電源電壓不正常；b.真空（kōng）係統不（bú）正常； c.高壓電路故；d.計算機邏輯控製電路故障等。

真空泵維修三：真空係統故障排除方法

（1）檢（jiǎn）查發現進（jìn）出口（kǒu）冷卻水溫度一樣，用手輕摸擴散泵（bèng）有餘熱，估（gū）計是加熱器或加熱電路有問（wèn）題，測加熱電路正常，拔下加熱器插頭，測二（èr）端電阻為∞，說明擴散泵加熱器損壞（huài），換上加熱器真空係統恢複正常。

（2）經檢查發現故障是擴散泵冷卻水溫度檢測器損壞造起，更換溫度檢測器後故障排出。

要保（bǎo）持真空係統的良好性能，必（bì）須保證係統的暢（chàng）通（tōng）清潔，首先，做好儀器的（de）使用（yòng）狀況和（hé）維護記錄，每次（cì）開機都要注意查看儀器運轉是否正常。這就是真空泵維修（xiū）之（zhī）真空係統故障排除最佳的方法，而且減少後續的人力物力財力。隻需要在使用的過程中花（huā）費一（yī）點點時間進（jìn）行檢查，真空係統運行的時候就可以有一點（diǎn）保障了。