2019-08-24

真(zhēn)空係統(tǒng)在汙染管理中(zhōng)的應用

由於人們對(duì)工業高度發達的負麵影響預料不夠,預防(fáng)不利,導致了全球性(xìng)的三大危機:資源短缺、環境汙染、生態破壞。由於人為(wéi)因素使環境的構成或狀態發生變化,環境(jìng)素質下降(jiàng),從(cóng)而擾亂和破壞了生態係統和人類(lèi)的正常生產和生活條件(jiàn)的現象,針(zhēn)對這些(xiē)問題,越來越多企業重視環境保護,東莞市(shì)普諾(nuò)克真空(kōng)科技有限公司旗下的真空(kōng)係(xì)統(tǒng)為(wéi)汙染管理提供一係(xì)列的解決方案,打算將真空係統在汙染管理中(zhōng)的應用,會有什麽樣子的效果。

 

汙染(rǎn)管理用真空係統是91污專門為半導體和製藥行業最新開發的。憑借91污真空多年來作為真空技術供應商(shāng)的經驗,已經使我們對(duì)生產體係的工藝、設備以及環境的專有技術 和理解完全成形(xíng)。基於這一認識,技術(shù)人員已開發了能夠識別並最小化汙染以及(jí)提高工藝每個步驟產(chǎn)量的解決方案(àn)。

 

真空係統


汙(wū)染是如何發生的?

在半導體行(háng)業,在運輸和等待期間,晶圓(yuán)發射出了反(fǎn)應副產品。通過氣流傳播的水分和分子汙染物(wù)(空氣分子汙染物(wù),簡稱 AMC),例如氟化氫(qīng)(HF),在運輸箱(吊艙係統)的狹隘間隙裏與環境空氣中的氧化劑(H2O 和 O2) 發生反應。在這些反應中,生長(zhǎng)在結構化(huà)晶片上那些不需要的晶(jīng)體(tǐ)被觸發,從而導致了質量的下(xià)降和產量的(de)減少。在製藥(yào)行業,比如濕度、氧氣或微生物侵入等汙染可以在整個產品生命周期影響藥物(wù)穩定性。

 

環境汙染源主要有以下幾方麵:

(1)工廠排出的廢煙、廢(fèi)氣(qì)、廢水、廢渣和噪音;

(2)人們生活中排出的廢煙、廢氣、噪音、髒水、垃圾;

(3)交通工具(所有的(de)燃油車輛、輪船、飛機等)排出的(de)廢(fèi)氣和噪音;

(4)大量使用化肥、殺蟲(chóng)劑、除草劑等化(huà)學物質的農田(tián)灌溉後流出的水;

(5)礦山廢水、廢渣;

(6)機(jī)器噪音,電磁輻射,二氧化碳汙染;空氣中主要汙染物(wù)有二氧化硫、氮氧化物、粒子狀汙染物、酸雨。

 

中央真空站特點:

1、真空站的真空上、下限值,可通過真空表設定在0~-0.1Mpa之間,誤差值在±10%。

2、真空站用儲(chǔ)氣罐根據用戶(hù)要求製造,一般在0.1~3m3之間。真空站啟動後,真空罐內真空度(dù)始終保持在設定的上、下限值之間。

3、配置真空泵采用品牌真空泵,可根據(jù)用氣量(liàng)相應配置型號(hào)。

4、控製方式:

A、單泵(bèng)自動、手動(dòng)控製(zhì)。

B、雙泵(bèng)一開一備用或雙泵分開單泵(bèng)定時自動循環運行(háng)控製,或雙泵(bèng)同時聯動運行自動控製。

5、真空負壓站(zhàn)每台泵均配置帶充氣電磁止(zhǐ)回閥(fá)一套,防止真空回(huí)油故障。

6、特殊行業(yè)可根據客戶(hù)要求設計金屬或(huò)粉塵過濾器,有(yǒu)效地保護真空獲得設備(bèi)。

 

91污真空(kōng)係統在汙染管理中的應用提高了敏感器件生產各個工藝步驟的產量及良率。為保證生(shēng)產質量和高產量,對器件(jiàn)包裝中的汙染(rǎn)物及其直接環境的認識是十分重要的。


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