東莞市91污真空（kōng）科技有限（xiàn）公司旗下的旋片真空泵在微電子工業中（zhōng）成功應用。旋片（piàn）真空泵多為中小型真空泵。旋（xuán）片真空泵有單級（jí）旋片真（zhēn）空泵和雙級真空泵兩種。所謂雙級旋片真空泵，就（jiù）是在結構上將（jiāng）兩個單級泵串聯起來。一般多做（zuò）成雙級的，以獲得較高的（de）真空度。

微電子（zǐ）技術要（yào）求電子元器件和電路的尺寸（cùn）越來越小，集（jí）成度要求越（yuè）來越高（gāo）。這與真空技術的應用密不可分，特別是超大規模集成電路的微細加工技術，其幾何（hé）圖形結構的形成、超薄層生長（zhǎng）技術、粒子束注入技術都需要高質量、清潔的真空環境，可見其發展對真空技術、裝備的依存性。目前，當今（jīn）的超大規模集成電路的工序需（xū）要有真空條件（旋片真空泵能夠提供）。

因此，微電子技術中，進口旋片真空（kōng）泵在這起到（dào）一（yī）定的作用。

微電子技（jì）術是建（jiàn）立在以集成電路為核心的各種半導體器件基礎上的高新電子（zǐ）技術，特點是體積小、重量輕、可靠性高、工作速度快，微電子技術對信息時代（dài）具有巨大的影響。

微電子技術是在傳（chuán）統的電子技術基礎（chǔ）上發展起來的。之所（suǒ）以稱之為“微電（diàn）子”，顧名思義就是由（yóu）於它（tā）是在微小的範疇內的一種先進技術，其特征是“四（sì）微”：①它對信號的加工處理是在一種固體內的微觀電子運動中實（shí）現的；②它的工作範圍是固體的甚至晶格級微區；③對信號的傳遞（dì）交換隻在極微小的尺度內進行；④它的容（róng）積很大，可以把（bǎ）一個電子功能部件，甚至一個子係（xì）統集成在一個微型芯片上。總之，微電子技術是指在幾乎肉眼看不見的範圍內（nèi）進行工作的（de）一種（zhǒng）獨特而神奇的特種技術。

微電子（zǐ）技術對電（diàn）子產品（pǐn）的消（xiāo）費者市場也產生了（le）深遠的影響。價廉、可靠、體積（jī）小、重量（liàng）輕的微電子產品層出不窮。電子技術產（chǎn）品和微處理器不再（zài）是專門的科學儀器世（shì）界的貴族，而落戶於各式各樣的（de）普及型產品之中，進入普通百姓家。例（lì）如電子玩具、遊戲機、學習機以及其他家（jiā）用電器產品等。就連汽車這種傳統的機械產品也（yě）滲透進了微電子技術，采用微電子技術的電子引擎監控係統、汽車安全防盜係統、出租車的計價器等已得到（dào）廣泛的應用（yòng），現代汽車上有時甚（shèn）至要有十幾到幾十個微處理器。

本文主要介紹一下“旋片（piàn）真空（kōng）泵在微電子工業（yè）中成功應（yīng）用”， 旋片真空泵廣泛地應用於冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫藥等生產和（hé）科研部門。已普遍應用於食品的真空包裝，塑料工業的（de）真空吸塑成形。印（yìn）刷行業的紙張輸送，真空夾具，以及真（zhēn）空吸引（yǐn）等。