無油真空泵獲得技術因其清潔（jié）抽空，節能環保等特點逐漸在各個領域（yù）得到了應用。本（běn）文就無油真空泵的特點無油真空泵在多晶矽鑄錠爐中的應用進行一一的分析。多晶矽鑄（zhù）錠爐的生產工藝是將熱交換（huàn）法和布裏曼法進（jìn）行了結合，矽在鑄錠爐內發生結晶，矽錠生產加熱過程（chéng）中底部的隔（gé）熱層和爐（lú）的保溫層確保了嚴（yán）密的閉（bì）合狀態，從而避免了矽錠生產熱量的外（wài）泄和溫度的不均衡造成的矽錠受熱不均衡，為矽錠長晶創造（zào）了良好的環境。

91污（kè）無（wú）油活塞真（zhēn）空泵在泵腔內具有若幹組相（xiàng）互齧合的爪（zhǎo）型轉子。轉子與轉子之間及轉子與泵腔之間並不接觸，留有微小的間隙，不用任何潤滑劑，從而（ér）保證了清（qīng）潔的（de）真（zhēn）空環境。泵的結構（gòu）采用多級轉子串連的形（xíng）式，每組轉（zhuǎn）子分別位於不同泵腔做同步（bù）反方向（xiàng）運動。泵（bèng）腔被（bèi）爪型轉（zhuǎn）子分（fèn）隔為（wéi）吸氣腔和排（pái）氣腔兩部分。隨（suí）著轉子連續（xù）運轉，進行循環的吸氣排氣過程，實現了泵連續抽氣的目的。

接（jiē）下來，91污（kè）小編給大家介（jiè）紹一下無油活塞真空泵的工作原理（lǐ）和特點。

無油活塞真空泵工作原理：

連杆通過軸承（chéng）與（yǔ）偏心壓裝在一起，偏心輪鎖緊在電機軸上，由於（yú）轉（zhuǎn）軸的旋轉，帶動連杆往複運動，從而實現空（kōng）氣的的吸入（rù）、壓縮和排出過程。

無油真（zhēn）空泵的特點：

1、在使用真空，排氣的場合不含有油分，不會像（xiàng）油式真空泵那樣對作業環境或製品造成汙染，能夠在各個領域使用。 　　

2、與油式（shì）真空泵相比，不需要給泵加油，基本不需要（yào）點（diǎn）檢和檢修。 　

3、運轉（zhuǎn）聲（shēng）音低，使用壽命長。同（tóng）時裝備有真（zhēn）空壓力（lì）表，調壓控製器。 　　

4、由於使用了特殊的自潤（rùn）滑（huá）碳精片，具有很強的耐磨性。 　　

5、由於能夠高速運轉，因此（cǐ）可以與電（diàn）機（jī）直連。這樣可使（shǐ）泵小型化。 　　

6、由於多枚滑片的高速（sù）回（huí）轉，可使脈（mò）動很小（xiǎo），吸排氣穩定。

多晶矽鑄錠爐已經成為太陽能（néng）光伏產業（yè）發展（zhǎn）的重要設備（bèi），加強其生產工藝控製技（jì）術和設備（bèi）組（zǔ）成（chéng）情況的研究有利於提高鑄錠爐的生產水平，促進矽片生產質量的（de）提高和太陽（yáng）能光伏電池製造水平的進步。

多晶矽（guī）的加工工藝對於真（zhēn）空度的要求較高，無油真（zhēn）空泵（bèng）在多晶矽鑄錠爐中的應用就是保持矽錠（dìng）可以在真空狀態下得到處理。不同的工（gōng）藝環節對（duì）於真空度的要求存在較大的差異，多晶矽鑄錠爐用（yòng）無油（yóu）真空泵需要對爐內的壓力和真空狀（zhuàng）態（tài）進行控製和調整。多晶矽（guī）鑄錠（dìng）爐除了有基礎的抽氣設備之外還設置了壓力檢測（cè）裝置，確保爐內壓力在合適的範圍之內，為（wéi）多晶矽矽錠（dìng）的生長提供（gòng）良好的氣氛。